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熱烈歡迎！中科院半導體所何力博士蒞臨嘉儀通交流用于先進制程退火工藝
- 分類： 品牌故事
- 作者：管理員
- 來源：本站
- 發布時間：2025-09-18
- 訪問量： 1027
【概要描述】2025.8.26日，中國科學院半導體研究所何力博士到訪武漢嘉儀通科技有限公司，交流用于先進制程退火···
熱烈歡迎！中科院半導體所何力博士蒞臨嘉儀通交流用于先進制程退火工藝
【概要描述】2025.8.26日，中國科學院半導體研究所何力博士到訪武漢嘉儀通科技有限公司，交流用于先進制程退火···
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2025.8.26日，中國科學院半導體研究所何力博士到訪武漢嘉儀通科技有限公司，交流用于先進制程退火工藝。分享了用嘉儀通RTP快速退火爐開展半導體材料超固溶度摻雜研究，為先進制程晶體管、光電子材料及器件制備等提供有效支撐。
隨著半導體制造工藝進入14納米及以下技術節點，傳統退火技術已難以滿足“毫秒級升至1200℃”的苛刻要求。激光退火（Laser Annealing）與閃光燈退火（Flash Lamp Annealing, FLA）因其快速、低溫預算、高效摻雜激活等優勢，成為先進制程的關鍵工藝裝備。
然而，該類設備長期被國外企業壟斷，并對中國實施嚴格禁運，成為制約我國半導體產業發展的“卡脖子”環節。在此背景下，何力博士團隊自主研發的閃光燈退火樣機成功實現脈沖寬度8毫秒、樣品尺寸2×2厘米的閃光退火實驗，初步驗證了國產FLA設備的可行性。
武漢嘉儀通科技有限公司作為在半導體工藝與檢測裝備領域具有深厚技術積累的創新企業，高度重視與中科院半導體所的合作機會。公司表示，將積極發揮其在設備工程化、系統集成、市場轉化等方面的優勢，共同推動閃光燈退火技術的產業化落地，助力打破國外技術壟斷。
此次交流不僅是一次技術匯報，更是“產-學-研”協同創新模式的生動實踐。雙方將繼續深化合作，加速推進國產FLA裝備的研發與應用，為我國半導體產業鏈自主可控與戰略安全提供堅實支撐。
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